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4、坩埚轴快速升降传动涡轮,要定期的打润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次,每次使用完毕后要检查波纹管是否有脏污
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滚轮式行程关又分为单滚轮自动复位和双滚轮(羊角式)非自动复位式,双滚轮行移关具有两个稳态位置,有“记忆”作用,在某些情况下可以简化线路。微动关式行程关的组成,以常用的有LXW-11系列产品为例,其结构原理如图F3所示:1:推杆 2:簧 3:动合触点 4:动断触点 5:压缩簧。在单晶生长过程中会形成硅氧化物(SiO)小颗粒并沉积在波纹管中。这些氧化物应被定期出去。将波纹管从坩埚轴密封一恻松。将它在适当位置系好以防止它往下回去。 用真空吸尘器所有的灰尘,包括磁流体密封座的密封表面上的灰尘檫拭干净后装回波纹管。