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整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外,整个炉内不存在排气不畅的地方,即不存在排气死角。有效地减小了炉内空间,便于迅速及时地将炉内的一氧化硅与氩气的混合气体排出,且利于减少热能和氩气的消耗量,使原有的引晶功率从65KW减到61KW,另外。还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明的直拉式单晶生长炉中,碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和部的排气口之间。氩气流量为30L/min。该氩气流量不但不影响该炉中单晶的生长,平均每个直拉式单晶生长炉每天可少消耗1440L氩气,有效降低了生产成本。石墨具有强度高,抗热震性好,耐高温,抗氧化,电阻系数小,耐腐蚀,易于精密机等优点。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,长兴收购长晶炉设备-口碑商家以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提 高排气效果。
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